电子工业用气体检测

检测概述：

电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料，它被称为电子工业的“血液”和“粮食”，它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的*性和准确性。

检测范围：

氧化亚氮、氨、氯化氢、三氟化硼、氧、磷化氢、硅烷、甲烷、丙烯、氢、氦、氮、氨、氩、三氯化硼、三氟甲烷、六氟化硫、六氟化钨、六氟乙烷、高纯氯、三氟化氮等

检测标准：

GB⁄T 34085-2017 电子工业用气体 三氟甲烷 

GB⁄T 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷 

GB⁄T 33774-2017 电子工业用气体 丙烯 

GB⁄T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷 

GB⁄T 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨 

GB⁄T 31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷 

GB⁄T 31987-2015 电子工业用气体 锗烷 

GB⁄T 14602-2014 电子工业用气体 氯化氢 

GB⁄T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫 

GB⁄T 18994-2014 电子工业用气体 高纯氯 

GB⁄T 31058-2014 电子工业用气体 四氟化硅 

GB⁄T 17874-2010 电子工业用气体 三氯化硼 

GB⁄T 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢 

GB⁄T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢 

GB⁄T 14600-2009 电子工业用气体 氧化亚氮 

GB⁄T 14601-2009 电子工业用气体 氨 

GB⁄T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼 

GB⁄T 14604-2009 电子工业用气体 氧 

GB⁄T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢 

GB⁄T 16942-2009 电子工业用气体 氢 

GB⁄T 16943-2009 电子工业用气体 氦 

GB⁄T 16944-2009 电子工业用气体 氮 

GB⁄T 16945-2009 电子工业用气体 氩 

GB⁄T 21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮