仪器检测服务
在市场上,无尘布品种多样,用途广泛,价格更是高低不平,客户在采购无尘布时主要通过无尘布的材质、吸收率等来评估无尘布性能和费用。
而在半导体行业的洁净室中对无尘布尘粒、离子、ESD等有很高的要求。硕源科技为此提供了一些评估无尘布的方法。
无尘布需进行严格检测以达到性能要求和污染控制标准,一般无尘布需进行以下检测:
1、抗磨损性检测
通常,抗磨损性检测属于布料物理性质的检测。但在无尘布的检测中,因为磨损的过程会产生尘粒,因此,将无尘布的抗磨损性检测归纳为污染控制范围更合适。
检测标准:抗磨损性越强越不容易产生尘粒。
2、克重
根据ASTM-D-3776检测无尘布单位面积的重量
参考检测标准:一般要求在150-300g/㎡
3、吸液量和吸液速度
根据IEST-RP-CC004.3第8节要求,需检测无尘布的吸收量和吸收速率。
吸液量反映的是单位面积的无尘擦拭布的吸收液体的毫升数。
吸液速率是指无尘布吸收10ml液体所需的时间。
以上两种测量都须测量三次并计算平均值
*参考检测标准:吸液量一般不小于400g/㎡
吸液速度一般不大于1秒。
4、IC检测
根据IEST-RP-CC004.3第7.2节要求,定性定量地测量无机阴阳离子含量。
参考检测标准,在磁头行业,一般要求CL-≤0.03ug/c㎡;SO42-≤0.03ug/c㎡;NO3-≤0.03ugc㎡;Total:<1.0ug/c㎡
5、NVR检测
根据IEST-RP-CC004.3第7.1节要求,检测单位面积上的无挥发性残留物。
NVR检测是将无尘布浸泡于一定量的溶剂中一定量的时间,然后将无尘布取出,检测溶于溶剂中的无挥发性残留物的质量。
参考检测标准:在磁头行业,一般要求<3.0ug/c㎡
6、LPC检测
根据IEST-RP-CC004.3第6.2.1节的要求,对无尘布进行LPC检测。
LPC可检测无尘布上的液态尘粒数。
LPC检测是将无尘布浸泡在一定量的DI水中,经过超声波振荡,检测DI水中的尘粒浓度。*参考检测标准:在磁头行业,一般要求<30counts/c㎡
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